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テープ研磨

テープ研磨とは、通常ラッピングテープと呼ばれるフィルム状のシートの表面に微細な砥粒を固着させたものを使った研磨です。CMPやラッピングなどの遊離砥粒による仕上げの研磨と、ベルト研磨などの物理的な研磨のちょうど間を取り持つような性能、精度を持つ手法です。

薄いテープ状の表面に砥粒がついているため、固定砥粒を使った研磨となります。このため、削る力が遊離砥粒よりも強く、加工能率を向上させるメリットがあり、かつ、ベルトよりも薄くやわらかいテープを基材に使っているため、曲面でも精度のよい仕上げが得られるという強みがあります。

テープ研磨は他の固定砥粒式に比べると、遊離砥粒なみに砥粒の均一分布に特徴があります。切削力が求められる場合には砥層が一層のみであり、圧をあまりかけられなかったり、ライフの持ちに難がありますが、ラップほどの遅さではなく、かつベルト研磨ほどのラフさでもないという点が使い勝手のよい様式と言えます。

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