ロータリー研磨について

ロータリー研磨とは、通常ロータリー研削盤を使った研磨加工のことを言います。これは大量のウエハや基板、プレートなどの研磨するのに適した研磨機で、精度の高い面粗度と厚み制御が可能です。原理としては、ワークをのせる台（定盤）そのものが回転する機構をもっており、複数の加工品を同時に仕上げていくことができます。